SmartTrak 101（μ-Flow）

毛细管质量流量计和质量流量控制器

规格|CAD绘图

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• 小型设计 - 安装方便
• 多种模拟或数字信号
• 24 VDC输入功率降低了安装成本和复杂性

MicroTrak™专门设计用于4mLn / min下的流量范围，最小可控质量流速为0.08mLn / min。

型号101是一种专业且高度工程的仪器，适用于那些需要精确可靠的微量气体控制的清洁气体，包括腐蚀性和毒品。MicroTrak™是基于屡获殊荣的数字系列
仪器。结果，易于操作，现场配置，多气体能力和应用灵活性是标准功能。

Mikrotrak标配了各种模拟和设定的能力和RS232。可选地，您可以添加安装在设备上或最多3米遥控器上的导频模块（如上图所示）。导频模块添加了清晰的背光
液晶显示屏和更改所有设置等设定值和所用气体类型的能力。或者，您可以在本机上添加Compod，该单元将添加Modbus，高级警报，累加器，模拟输入，脉冲输出等。看
有关更多详细信息，请单独的Compod数据表。

SmartTrak 101质量流量控制器的功能包括：

• 测量和控制气体流量从4mLn / min到0.08mln / min
• 数字性能
• 包括可实现10种不同气体的Dial-A-Gas®多气体功能
• 316不锈钢结构适用于任何
• 清洁气体，甚至腐蚀性和毒性
• 小脚印使安装变得简单
• 单面电源输入可降低安装成本和复杂性
• 从多个模拟或数字信号中选择
• 支持Modbus和Profibus DP

SmartTrak 101质量流量控制器

品牌：voegtlin.

部分参考：ST101.
iwn：FLO-ST101.

类别：流量计，毛细管质量流量计，质量流量控制器

气体：清洁气体，腐蚀，有毒

SmartTrak 101 Mass Flow Controller的规格细节：

拨金
所有10个标准气体中+/- 1％的满量程

湿润的材料
316不锈钢，416不锈钢;Viton®“O” - 阀门座椅
标准;其他弹性体可用（咨询工厂

重复性
+/- 0.2％的满量程

准确性
+/- 1％的满量程，包括校准条件下的线性

温度系数
0.05％的全尺寸/°C，或更好

压力系数
每条满量程的0.15％，或更好

输出信号 - 模拟：
线性4至20 mA，500欧姆最大环路电阻和以下之一：线性0至5 VDC，0至10 VDC，1至5 VDC，1000欧姆
最小载荷阻力

输出信号数字：
标准RS232;导频模块显示可选

气体温度和环境温度
0°C至50°C

泄漏完整性
5 x 10-9标准CC / SEC最大

气体
所有清洁气体包括腐蚀性和毒性;订购时指定。以下十个气体构成每个MicroTrak™仪器的Dial-A-Gas®功能;最多九个可选气体可以被取代。

电源要求
（纹波噪声不超过100mV峰到峰）
对于质量流量计：15至24 VDC +/- 10％（最大130 mA）
对于质量流量控制器：24 VDC +/- 10％（400 mA，监管），用于C101

控制器的控制范围
2-100％的全尺度流动;自动关闭1.9％

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